消息,据微博用户鼎盛风清称之为,荷兰政府将根据瓦森纳国际协议,禁令阿斯努(ASML)公司向中国出口极紫外(EUV)光刻机。不过,(公众号:)了解到,该消息还并未最后证实。雷锋录:图为微博图片美国施加压力荷兰,禁令向中国出口 EUV 光刻机据《路透社》报导,美国方面为“制止荷兰向中国出售芯片生产技术”,暗地展开了大量工作。
据报,美国的单方面 “制止运动” 开始于 2018 年,荷兰政府向 ASML 派发了出口许可证,容许其向中国公司中芯科技出口一台价值 1.5 亿美元的 EUV 光刻机。据消息人士透漏,在荷兰政府派发出口许可证之后的几个月中,美国的政府官员细心研究了他们否可以完全制止出售,并与荷兰政府涉及人士展开了最少四轮谈判。2019 年 7 月 18 日,美国总统国家安全性事务代理助理 Charles Kupperman 给造访华盛顿的荷兰副首相马克 · 吕特一份秘密情报,报告中大谈“中国取得光刻机的有可能后果”。
在马克 · 吕特采访过白宫旋即之后,荷兰政府自由选择不续约 ASML 的出口许可。录:图源网易而对于此前早已出售的价值 1.5 亿美元的 EUV 光刻机,原计划不应在 2019 年年初就交付给到中国。不过,后来 ASML 方面因仓库遇火延后了 EUV 光刻机的交付给时间,改回在 2020 年的年中交付给。
在媒体首次报导延后交货时,荷兰 ASML 公司回应,公司仍在等候新的许可证申请人的批准后,并拒绝接受更进一步给与评论。另外,对于美国政府的施加压力的众说纷纭,荷兰外交部发言人在 1 月 15 日回应,在要求否发给出口许可证时,荷兰政府要权衡经济和安全性利益。
关于此事,中国方面也指出了态度。2020 年 1 月 17 日,据《金融时报》报导,中国派驻荷兰大使徐宏在专访中回应,如果媒体报道有误,即如美国向荷兰施加压力,荷兰政府因此仍然批准后向中国出口 EUV 光刻机,那么这种作法就是典型的将商业问题政治化。按照涉及法律及国际协议,美国没理由拒绝荷方容许 ASML 对华出口。
另外,徐宏还回应,期望荷兰政府能综合考虑到自身利益、荷兰企业利益,本着公平贸易及法治的精神,做出准确辨别。如果荷兰政府在政策倾向上跟随美国,基于政治原因对中荷经贸往来产生不公平的容许,毫无疑问将不会影响两国合作。
因为所有的合作都应该是对等互助的。EUV 光刻机是何物?在主流微电子生产过程中,光刻是最简单、便宜和关键的工艺,占到总成本的 1/3;目前的 28nm工艺则必须 20 道以上光刻步骤,花费时间大约占到整个硅片工艺的 40-60%。
光刻工艺要求着整个 IC 工艺的特征、尺寸,代表着工艺技术发展水平。由于高技术拒绝,光刻机生产可玩性很大,全世界只有少数几家公司需要生产,主要有 ASML、Nikon 和 Canon 等。
而 EUV 光刻机作为现今最先进设备的芯片生产设备,是唯一需要生产 7nm 以下制程的设备,因此,其也被称作“突破摩尔定律的救星”。也就是说,必需用于 EUV 光刻机才能使半导体芯片转入 7nm,甚至 5nm 时代。在 EUV 光刻机的生产上,ASML 公司是该领域的领军企业,同时也是全球唯一能生产 EUV 的企业。
据理解,ASML 的设备用于由激光产生,并通过巨型镜子探讨的极紫外(EUV)光束,在硅片(被称作晶圆)上铺设十分狭小的电路。这能让厂商生产更加慢、更加强劲的微处理器、内存芯片和其他先进设备元件;而这些元件不论是对消费类电子产,还是对军事应用于来说都至关重要。另外,值得一提的是,目前,国内光刻机厂商有上海微电子、中电科集团四十五研究所、合肥芯硕半导体等,但由于技术难度极大,但短期内还是正处于比较劣势的地位。
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